Céramique électrique à nano-positionnement XYZ. – Test et Avis

Points Clés

• Mouvement XYZ
• Course jusqu’à 500 μm/axe
• Capacité de charge jusqu’à 200g
• Version en boucle fermée pour une grande précision
• Version UHV disponible

Description du produit

Étape piézo-nanopositionnement

L’étage de nano-positionnement piézo-électrique produit le déplacement et la force générés par les piles piézo-électriques à travers la charnière flexible mécanique, pourrait réaliser un mouvement X/Z/XY/XZ/XYZ. La plage de déplacement maximale est jusqu’à 300 μm. Il a les caractéristiques de petite taille, réponse rapide, etc. Le capteur de haute précision peut être intégré pour atteindre la nano-résolution et la précision de positionnement avec une fiabilité extrêmement élevée, et est divisé en deux structures: entraînement direct et entraînement amplifié.

Caractéristiques de l’étape piézo-nano-positioning P60.XYZ200

• Mouvement XYZ
• Course jusqu’à 500 μm/axe
• Capacité de charge jusqu’à 200g
• Version en boucle fermée pour une grande précision
• Version UHV disponible

Fréquence vs courbe de charge

Données techniques

Dessin

Contrôleurs recommandés

Application

• Microscope à balayage
• Réglage du trajet optique
• Technologie de manipulation du nanomètre
• Traitement des images CCD
• Interférence laser
• Nano-lithographie, biotechnologie
• Communication optique
• Nano-mesure
• Nano empreinte